NOTE ! Le BPS-3 fait partie de la première génération de pompes ultrapures sans palier. Pour les nouvelles applications, veuillez consulter le modèle BPS-600 qui lui succède.

La pompe Levitronix BPS-3 de première génération est conçue pour le traitement ultra-pur de fluides délicats dans les applications microélectroniques humides.

Basée sur la lévitation magnétique active, la roue de la pompe est suspendue et entraînée par le champ magnétique du moteur. Le grand écart garantit qu’il n’y a aucun contact mécanique entre les pièces mobiles et donc aucune usure. Il n’y a pas de roulements à user ou de joints à détériorer. La roue et le boîtier sont tous deux fabriqués à partir de résines fluoropolymères de haute pureté résistant aux produits chimiques.

Le débit et la pression du fluide sont contrôlés avec précision en régulant électroniquement la vitesse de la roue.

• Avantages du système :
  • Améliore les rendements de production de CMP en produisant 200 à 1000 fois moins de particules à gratter que les autres pompes
  • Augmente la durée de vie du filtre dans les boucles de recirculation CMP d’un facteur allant jusqu’à 15 en générant moins de gels et de grosses particules
  • Réduit les problèmes de contamination des particules dans les processus humides en générant 10 à 50 fois moins de particules
  • Améliore et simplifie le contrôle du processus en éliminant les pulsations et en contrôlant avec précision le débit et la vitesse du rotor
  • Augmente la disponibilité de l’équipement et réduit les coûts d’entretien en réduisant l’usure des pièces
  • Augmente le temps de fonctionnement de l’équipement et réduit les coûts de maintenance dans les applications de placage en offrant une opération sans colmatage
  • Économise de l’espace précieux dans les outils de traitement en ayant un très faible encombrement