La série L20 : High Pressure Regulator

Le régulateur est conçu pour fournir performance et propreté optimale pour les applications de semi-conducteur de haute pureté.

L20 SERIES

La série L20 est capable de contrôler pression pour les débits intermédiaires à applications de cylindre source.

La série L20 est fabriquée, nettoyée et testée avec des normes rigoureuses en utilisant une technologie la plus avancée.

Type d'écoulement standard à haute pression :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 60 NL / min
• 14,8 MPa
• 0,99 MPa

La série L21 : High Pressure Regulator

Type d'écoulement standard à haute pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 20 NL / min
•   14.8 MPa
• 0,99 MPa

La série L25 : Point-of-use Pressure Regulator

Type d'écoulement standard basse pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 20 NL / min
• 6 MPa
• 0,99 MPa

La série L26 : Point-of-use Pressure Regulator

Type d'écoulement standard basse pression :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 20 NL / min
•  0.99 MPa 2 MPa 6 MPa
  
• 0,99 MPa

- L'optimisation structurelle améliore la perte de charge de moitié en libérant du gaz

- Mise à niveau jusqu'à 0,1 μm sans particules (qualité U · traitement spécial de polissage)

- Fonctionnement amélioré de la poignée de réglage de la pression permettant un contrôle précis et stable de la pression

La série L35 : Medium Flow Rate Applications

Type d'écoulement moyen à basse pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 100 NL / min
• 6 MPa
• 0,9 MPa

La série L61 : High Flow Rate Applications

Type d'écoulement débit élevé à haute pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 300 NL / min
•  14.8 MPa
• 0,8 MPa

La série L62 : High Flow Rate Applications (needle type)

ype d'écoulement haute pression à grand débit :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 300 NL / min
•  14.8 MPa
  
• 0,8 MPa

La série 81 : High Pressure Regulator

Type d'écoulement standard :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 25 NL / min
•  14..8 MPa
• 0,6 MPa

La série 88 : High Pressure Regulator (Recommended for B2H6, NF3 Service)

Type d'écoulement standard :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 25 NL / min
•  14..8 MPa
• 0,99 MPa

La série 96 : Absolute Pressure Regulator

Type de pression :

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 5 NL / min
•  0.99 MPa
• -0.1 à 0 à 0,2 MPa

La série H1 : High Flow Rate Applications

Grand débit à basse pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 500 NL / min
• 6 MPa
• 0,8 MPa

La série H2 : High Flow Rate Applications (Needle Type)

Grand débit à basse pression

• SUS 316 L, SUS + Hastelloy ®
• 500 NL / min
• 6 MPa
• 0,8 MPa