Clapet anti-retour série IC

KITZ SCT

Clapet anti-retour pour le contrôle de débit unidirectionnel.

Pression de service jusqu"à 160 bar (2350 psig)

Pressions de tarage fixes

Serie IC
Taille 1/4" à 1/2"
Pression de tarage 2.26 kPa à 171.6 kPa
Pression max. 160 bar (16.2 Mpa (G))
Cv. 0.35 à 1.1
Température du fluide -10 ~ 80°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège Fluorine rubber, Kalrez…
Raccords Double bagues, CVC,
Ra 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

FCD PFA with bypass and ajustable

KITZ SCT

Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

variable valve with bypass and component.jpg

general presentation KITZ

KITZ SCT

KITZ est une société Japonaise, spécialisée dans la fabrication de vannes pour différentes industries. Chiffre d'affaire consolidé 1,2 Milliard de Dollars US, Effectif 4100 Employés.

KITZ SCT, Super Clean Technology, est la division specialisée pour les applications de type ultra haute pureté, UHP. dédiée aux applications semiconducteurs ou toutes acitivités necessitant des fluides  purs. KITZ SCT est une société novatrice à l'écoute de ses clients, capable de produire des composants spécifiques dans des delais très courts.

Site web de la marque:: Kitz sct

general presentation PFA

KITZ SCT
general presentation PFA

Clean, high-reliability valves are required in the fluid handling of high-purity chemicals,

ultrapure water, etc., at semiconductor and liquid-crystal display facilities.
In addition, as higher pressures have come to be used in those fluid handling systems
in recent years, valves are required to have a high level of sealing performance with
respect to both positive and back pressure.
The FCD series was developed to meet this needwhile considering user-friendliness.
These valves are compact, the direction of the air supply inlet can be selected, and the
base attachment part can be made with a longer hole. These are some of the
specifications incorporated into these valves useful in making the valve attachment
work more efficiently.
We also offer a piping system that merges those features together, by combining the
valves with the TB series of PFA tube fittings to realize a compact, leakproof fluid
handling system.
KITZ-SCT will answer all of your needs systems.

General presentation UHT

KITZ SCT
General presentation UHT

Higher purity and high reliability are essential in the gas supply systems used in

semiconductor fabrication processes
KITZ SCT's superclean valves (SCVs) are products that boast high reliability and
high durability to meet the exact needs of our customers. The excellent features of
the SCVs include improved gas exchange characteristics because of minimal
internal capacity, better degassing characteristics due to the smaller surface area
of the seat that comes into contact with gas, prevention of plastic expansion, and
improved valve operation speed due to the use of aluminum in the piston.
KITZ-SCT supplies the high-grade model "KD series" and other products suited for
a variety of uses with a high level of technological capabilities and abundant
know-how.

General presentation Vacuum

KITZ SCT
General presentation Vacuum

In semiconductor and liquid-crystal production equipment, the gases supplied to

the process chamber react over the wafer due to the plasma or heat, and then they
are forcefully expelled by a vacuum pump.
KITZ SCT's vacuum valves enable long-term, stable durability under such severe
conditions. In addition, for reactive gases, heating the valve from the inside of the
bellows achieves uniformity of temperature which prevents byproducts inside the
valve and realizes high sealing ability over a long period of use.

PFA suck back valves

KITZ SCT

Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

PFA variable flow valves with pneumatic bypass valve

KITZ SCT

Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

Vanne à membrane manuelle Haute Pression 3 ports Série RD

KITZ SCT

Vanne à membrane manuelle haute pression 3 voies. Pression maximale : 206 bars.

Série RD
Opération Manuelle
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 0,25 voir spécifications
Pression max. 162 à 206 bar voir spécifications
Température du fluide -10 ~ 150°C voir spécifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège SUS316L
Raccords Double bague, CVC, Tube à souder
Ports 3
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne a membrane manuelle pour Liquides Serie WD

KITZ SCT

Vanne manuelle à membrane pour liquides .

Développée pour les liquides très haute pureté, pour les procédés semiconducteurs. Les vannes de la serie WD sont equipés de sièges et clapets demontables. Le remplacement peut etre effectué par l'utilisateur sur sîte.

Série WD
Opération Manuelle
Taille 1/4" à 1/2"
Cv. 0,3
Pression max. 29 Bar
Température du fluide -10 ~ 150°C voir spécifications
Matériau corps  SUS316L
Matériau siège PCTFE, PFA, PI
Raccords  CVC, Tube à souder
Ports 2 droit
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne à membrane pneumatique Haute Pression 3 ports Série RD

KITZ SCT

Vanne Pneumatique Haute pression 3 voies:
Pression maximale : 206 bars.

La série haute pression, emprunte un dessin de corps de vanne compacte, qui permet de réduire les volumes. L'actionneur nouvelle génération requiert une faible pression d'air pour ouvrir la vanne. La serie RD pneumatique est proposée uniquement en normalement fermée N.C. Les 3 ports sont configurables, 3 options sont disponibles.

Série RD
Opération Pneumatique
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 0,25 voir spécifications
Pression max. 162 à 206 bar voir spécifications
Température du fluide -10 ~ 150°C voir spécifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège SUS316L
Raccords Double bague, CVC, Tube à souder
Ports 3
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne à vide d'angle manuelle à soufflet

KITZ SCT

Vanne à vide d'angle manuelle à soufflet serie IVBM

Série IVBM
Opération  Manuelle
Taille DN16 à DN100
Bride KF, CF, autres nous contacter
Conductance 5 à 320 l/sec.
Pression d'utilisation  1.4 10 E-10 à 0,1 MPa (G)
Température du fluide - 15 à 100 °C
Matériau corps SUS306
Matérieau soufflet SUS316L

Vanne vide.JPG

Vanne à vide d'angle pneumatique à soufflet

KITZ SCT

Vanne à vide d'angle pneumatique à soufflet serie IVBM

Série IVBM
Opération  Manuelle
Taille DN16 à DN100
Bride KF, CF, autres nous contacter
Conductance 5 à 320 l/sec.
Pression d'utilisation  1.4 10 E-10 à 0,1 MPa (G)
Température du fluide - 15 à 100 °C
Matériau corps SUS304
Matériau soufflet SUS316L

schema IVB pneumatique valve.jpg

Vanne à Vide Pneumatique avec by-pass et débit ajustable

KITZ SCT

Vanne à vide equipée d'un by-pass à débit ajustable série IVBVX


La série IVBX permet de reduire les couts et encombrements en intégrant une ligne de by-pass variable dans la ligne principale. La vanne de by-pass est intégrée pysiquement dans la vanne à vide principale. L'ensemble comporte uniquement un port d'entrée et un port de sortie.
 Le Cv. peut varie de 0.03 a  0.74 sont disponibles.

Plusieurs configurations de by-pass sont envisageables

Série IVBVX
Opération  Pneumatique
Taille DN25 à DN100
Bride KF, CF, autres nous contacter
Conductance 5 à 320 l/sec.
Cv. 0.03 ou 0.75 1/4" ou 1/2"
Vanne d'arrêt N.C.
Pression d'utilisation  1.4 10 E-10 à 0.1 MPa (G)
Température du fluide - 15 à 100 °C
Matériau corps SUS304
Matériau soufflet SUS316L

IVB exhaust valve variable.jpg

Plusieurs matériaux sont disponibles pour les sièges en fonctions des natures de gaz et températures d'utilisations. N'hésitez pas a nous contacter pour determiner la séléction la plus appropriée.

Vanne à Vide Pneumatique avec by-pass et débit fixe

KITZ SCT

Vanne à vide equipée d'un by-pass à débit fixe série IVBX

La série IVBX permet de reduire les couts et encombrements en intégrant une ligne de by-pass dans la ligne principale. La vanne de by-pass est intégrée pysiquement dans la vanne à vide principale. L'ensemble comporte un port d'entrée et un port de sortie.
 2 valeurs de Cv. 0.3 ou 0.85 sont disponibles.

Plusieurs configurations sont envisageables

Série IVBX
Opération  Pneumatique
Taille DN25 à DN100
Bride KF, CF, autres nous contacter
Conductance 5 à 320 l/sec.
Cv. 0.3 ou 0.85 1/4" ou 1/2"
Vanne d'arrêt N.C.
Pression d'utilisation  1.4 10 E-10 à 0.1 MPa (G)
Température du fluide - 15 à 100 °C
Matériau corps SUS304
Matériau soufflet SUS316L

IVB exhaust valve fixed.jpg

Plusieurs matériaux sont disponibles pour les sièges en fonctions des natures de gaz et températures d'utilisations. N'hésitezvpas a nous contacter pour determiner la séléction la plus appropriée.

Vanne à vide pneumatique chauffée

KITZ SCT

Vanne a vide pneumatique d'angle à soufflet chauffée série IVBH

Série IVBH
Opération  Pneumatique, NO, NC ou double action 
Taille DN25 à DN100
Bride KF, CF, autres nous contacter
Conductance 5 à 320 l/sec.
Pression d'utilisation  1.4 10 E-10 à 0,1 MPa (G)
Température de chauffe 180 °C
Matériau corps SUS304
Matérieau soufflet SUS316L

Vanne manuelle à membrane 3 ports Série VLD

KITZ SCT

Vanne manuelle 3 ports série VLD.

Serie hautes performances faible coût pour application U.H.P.

L'optimisation des coûts a été effectuée en garantissant une qualité satisfaisant aux standards les plus exigeants. La série VLD est produite en trés grande série avec une gamme de reference et option reduite.

Vanne manuelle à membrane haute pression Série RD

KITZ SCT

Vanne à Membrane Manuelle Haute pression:
Pression maximale : 206 bars.

La série haute pression, emprunte un dessin de corps de vanne compacte, qui permet de reduire les volumes. Le volant grand diamêtre permet d'opérer la vanne facilment. La nouvelle fenêtre permet une visualisation de l'état de la vanne, ouverte ou fermée.

Série RD
Opération Manuelle
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 0,25 voir spécifications
Pression max. 162 à 206 bar voir spécifications
Température du fluide -10 ~ 150°C voir spécifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège SUS316L
Raccords Double bague, CVC, Tube à souder
Ports 2, droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne manuelle à membrane Série VLD

KITZ SCT

Vanne manuelle série VLD.

Serie hautes performances faible cout pour application U.H.P.

L'optimisation des cout a été effectuée en garantissant une qualité satisfaisant aux standards les plus exigeants. La série VLD est produite en trés grande série avec une gamme de references reduite.

Vanne manuelle à menbrane multi ports Série KD MB

KITZ SCT
Vanne manuelle à menbrane multi ports Série KD MB

Vanne manuelle 270° à menbrane multi ports.

Série hautes performances, pour application UHP. Vanne 3 ou 4 ports, les raccords peuvent être différents. Cv élevé et faible volume interne.

Serie KDMB
Operation Manuelle 270°
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC,Tube à souder
Ports 3 ou 4
Ra 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

KDMB direction.jpg

Vanne manuelle à menbrane multi ports Série KD QB

KITZ SCT
Vanne manuelle à menbrane multi ports Série KD QB

Vanne manuelle 90° à menbrane multi ports.

Série hautes performances, pour application UHP. Quart de tour. Vanne 3 ports configurables. Les raccords peuvent être différents suivant les ports. Cv élevé et faible volume interne.

Serie KDQB
Operation Manuelle 90°
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC,Tube à souder
Ports 3
Ra 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne manuelle à menbrane Série KD M

KITZ SCT

Vanne manuelle 270° à menbrane Série KD

Série hautes performances, pour application UHP. Cv élevé et faible volume interne.

Serie KDQ
Operation Manuelle 90°
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords Double bagues, CVC,Tube à souder
Ports 2, droit, angle, L
Ra 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne manuelle à menbrane Série KD Q

KITZ SCT
Vanne manuelle à menbrane Série KD Q

Vanne manuelle 90° à menbrane Série KDQ

Série hautes performances, pour application UHP. Quart de tour, Cv élevé et faible volume interne.

Serie KDQ
Operation Manuelle 90°
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords Double bagues, CVC,Tube à souder
Ports 2, droit, angle, L
Ra 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne manuelle compacte à membrane Série KCD

KITZ SCT
Vanne manuelle compacte à membrane Série KCD

Vanne manuelle compacte série KCD,

Série hautes performances pour applications UHP. Le volume interne de la vanne est inférieur à 1 cm³. La taille a été réduite de 20% par rapport à une vanne conventionnelle, tout en conservant un Cv. élevé. La série compacte est proposée uniquement en taille 1/4". Une version  mutli ports configurable est disponible.

Série KDC
Opération Manuelle
Taille 1/4"
Cv. 0,1
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 150°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC ou Tube à souder
Ports 2, 3,droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne Membrane Haute Pression Série RD

KITZ SCT

Vanne à Membranne Haute pression:
Pression maximale : 206 bars.

Vanne Micrometrique Manuelle

KITZ SCT

Vanne Micrometrique serie IB

Vanne manuelle ui permet d'ajuster un debit avec precision

Vanne Micrometrique Pneumatique

KITZ SCT

Vanne Micrométrique série IB

Vanne pneumatique

IB vanne micrometrique.jpg

Vanne Mono Block Manuelle Série B

KITZ SCT

Vanne Mono Block Manuelle

Vanne compact permettant de. réduire les volumes.Plusieurs configurations  possibles pour le passage des gaz.

Vanne Mono Block Pneumatique

KITZ SCT

Vanne Mono Block Pneumatique

Vanne compact permettant de. réduire les volumes.Plusieurs configurations  possibles pour le passage des gaz.

Vanne Mono Block Pneumatique Série B

KITZ SCT

Vanne Mono Block Pneumatique

Vanne compact permettant de. réduire les volumes.Plusieurs configurations  possibles pour le passage des gaz.

Vanne PFA Manuelle Série FCDN

KITZ SCT

Vanne PFA Manuelle

Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

manual valve and component.jpg

Vanne PFA Pneumatique Débit Variable Série FCDN

KITZ SCT

Vanne PFA Pneumatique avec débit réglable

Normalement ouverte NO ou normalement fermée NC
Position : pleine ouverture, ouverture partielle, fermée
Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

Variable flow valves and component.jpg

Vanne PFA Pneumatique Bypass série FCDN

KITZ SCT

Vanne PFA Pneumatique avec Bypass intégré

Normalement ouverte NO ou normalement fermée NC
Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

pneumatic valve with bypass and component en longueur.jpg

Vanne PFA Pneumatique Série FCDN

KITZ SCT

Vanne PFA Pneumatique

Normalement ouverte NO ou normalement fermée NC
Dimension 1/4" à 1"
Cv 0.3 à 10
Température liquide 5 - 100 °C
Température ambiante 0 -60 °C
Pression liquide 5 Bars
Raccords Pillar Super 300 ou Kurabo Final Lock

pneumatic valve and component.jpg

Vanne Pneumatique à Soufflet Grande Taille

KITZ SCT

Vanne Pneumatique à soufflet grande taille

Vanne pneumatique à membrane Haute Pression Série RD

KITZ SCT

Vanne à membrane pneumatique haute pression:
Pression maximale : 206 bars.

La série haute pression, emprunte un dessin de corps de vanne compacte, qui permet de reduire les volumes. L'actionneur nouvelle génération requiert une faible pression d'air pour ouvrir la vanne. La serie RD pneumatique est disponible uniquement en normalement fermée N.C.

Série RD
Opération Pneumatique normalement fermée NC
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 0,25 voir spécifications
Pression max. 162 à 206 bar voir spécifications
Température du fluide -10 ~ 150°C voir spécifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège SUS316L
Raccords Double bague, CVC, Tube à souder
Ports 2, droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne Pneumatique à membrane multi portsSérie KDB

KITZ SCT
Vanne Pneumatique à membrane multi portsSérie KDB

Vanne Pneumatique série KDB,

Série hautes performances pour applications UHP. Vanne 3 ports configurables. Vanne normalement fermée (NC) ou normalement ouverte (NO) .Cv élevé et volume interne réduit

Série KDB
Opération Pneumatique NO ou NC
Taille 1/8" à 1/2"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC ouTube à souder
Ports 3
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne pneumatique à membrane Série KD

KITZ SCT
Vanne pneumatique à membrane Série KD

Vanne Pneumatique série KD,

Série hautes performances pour applications UHP. Vanne 2 ports, Cv élevé et volume interne réduit

Série KDC
Opération Pneumatique NO ou NC
Taille 1/8" à 3/4"
Cv. 0,04 à 1,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 200°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords Double bagues, CVC,Tube à souder
Ports 2, droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne pneumatique à membrane Série VLD

KITZ SCT

Vanne pneumatique série VLD.

Serie hautes performances faible cout pour application U.H.P.

L'optimisation des cout a été effectuée en garantissant une qualité satisfaisant aux standards les plus exigeants. La série VLD est produite en trés grande série avec une gamme de references reduite. Disponible uniquement en normalement fermée (NF).

Vanne pneumatique compacte à membrane Série KCD

KITZ SCT
Vanne pneumatique compacte à membrane Série KCD

Vanne pneumatique compacte série KCD,

Série hautes performances pour applications UHP. Le volume interne de la vanne est inférieur à 1 cm³. La taille a été réduite de 20% par rapport à une vanne conventionnelle, tout en conservant un Cv. élevé. La série compacte est proposée uniquement en taille 1/4". Une version  mutli ports configurable est disponible.

Série KDC
Opération Pneumatique NO ou NC
Taille 1/4"
Cv. 0,1
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 150°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC ou Tube à souder
Ports 2, 3,droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne pneumatique debit ajustable série KDT

KITZ SCT

KD 2 step valve.jpgVanne 2 etats.

Cette vanne permet de remplacer 3 composants.

Vanne d'arret pour ligne by-pass, egalement vanne d'arret pour ligne débit réduit, et vanne pour reduction de débit.

Les valeurs de Cv. sont ajustables. Differents configurations de port jsont envisageables.

Série KDT
Opération Pneumatique 
Taille 1/4" à 1/2"
Cv. 0,02 à 0,7
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide -10 ~ 150°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège PCTFE, PFA, PI, SUS316L
Raccords CVC
Ports 2, droit, angle, L
Ra. 0,25 standard ou 0,13 µm electropolie

Vanne pneumatique haute temperature Serie KDK

KITZ SCT

Vanne à membrane pneumatique haute temperature.

La température maximale du gaz est de 250 °C.
La vanne peut être utlisée dans une enceinte chauffée à 250 °C. Ideal pour les procédés avec des organo métaliques.
Actionneur normalement ouvert ou normalement fermé, la série KDK est également disponible avec l'option multiports.

Série KDK
Opération Pneumatique N.O. ou N.C.
Taille 1/4" à 1/2"
Cv. 0,25 à 0,7 voir specifications
Pression max. 9,8 bar
Température du fluide 20 ~ 250°C voir specifications
Matériau corps  SUS316L, SUS316LE option
Matériau siège SUS316L
Raccords CVC ou Tube à souder
Ports 2,3, droit, angle, L
Ra.  0,13 µm electropolie